美国宾夕法尼亚州立大学刚刚制成了100mm的纯石墨烯晶圆,IBM的研究人员们就在《科学》杂志上展示了迄今为止频率最高的射频石墨烯晶体管,速度高达
IBM表示,这一成就是美国国防部高级研究计划署(DARPA)出资设立的碳电子射频应用(CERA)项目取得的又一个关键里程碑,仍将用来开发下一代通信设备。
据解释,如此高频率是在晶圆尺度外延生长的石墨烯上获得的,所使用的处理工艺和目前广泛应用的硅设备制造技术也是兼容的。统一、高质量的石墨烯晶圆在碳化硅(SiC)衬底上利用热分解合成,而石墨烯晶体管本身基于金属顶栅架构,以及一个由聚合物、高介电常数氧化物组成的栅极绝缘层。
IBM透露,这种石墨烯晶体管的栅极宽度目前为240纳米,因此还有充分的改进空间,性能也将有大幅提升。